Елипсометри
производител: Horiba Scientific
Разнообразна гама от елипсометри за измерване на тънки слоеве, включително in situ, характеристиките на тънки слоеве: дебелини от няколко ангстрьоми до десетки микрони, оптичните константи, състава, анизотропията, кристалността и хомогенността.
Auto SE - напълно автоматизиран анализ на тънки слоеве само с натискане на един бутон.
HORIBA Scientific разработи ново поколение елипсометри, UVISEL 2, с които се постига най-висока степен на характе-ризиране на нано и микро ниво на тънките слоеве. В системата са интегрирани и автоматизирани процедури за анализ на всякакъв тип материали. Патентованата система за контрол на петното на светлинния лъч и визиолизация на позиционирането му позволява постигане на най-малкото петно от 35μm реализирано от такива апарати. UVISEL 2 покрива широк спектрален интервал от FUV to NIR. Мощния софтуер снабден и с богата база данни позволява характеризирането на всякакъв тип материали и структури.
