Серията SEM на HITAHСI  използващи волфрамови катоди SU 1510S-3700N се отличават с висока резолюция съчетана с ненадмината стабилност и надеждност на работа.  Универсалността на микроскопите се изразява във възможността за работа в ралични режими: конвенционален висок вакуум, при променливо налягане в камерата, VP – режим, приложим при работа с влажни или непроводими проби или в режим на „ниско напрежение“ подобен на FE-SEM, без да е необходима практически намеса на оператора за допълнителни оптимизации при преминаване от един в друг режим. Големите камери позволяват свързване на различни аксесоари за анализ или за специализирани приложения. Прецизната електронна оптична система позволява постигането на най-висока резолюция при високи напрежения; много висок ток на електронния лъч дори при ниски напрежения за постигане на отлична визиолизация и анализ; различните типове детектори при всички режими на работа позволяват детайлно характеризиране на структурата на повърхностите и на разликите на материалите.