производител: Hiden Analytical
Анализът на остатъчните газове е от фундаментално значение за характеризиране на състоянието и процесите във вакуумните камери. Предлаганите мас-спектрометри са бързи и покриват широк динамичен интервал за анализ на остатъчните газове. Намират широко приложение за: анализ на течове на вакуумни камери; анализ и контрол на качеството вакуума; изследване на процесите на отгазяване; контрол на работа на системите на помпане.
Отлагането на тънки слоеве за научни и приложни цели се използва широко в най-различни области, като микроелектроника, нанотехнологии, слънчеви панели, механика, оптика, фотоника, текстил, покрития, химия, биология, и медицина.
Квадруполните мас-спектрометри се използват за контрол и анализ на процеса на отлагане на тънки слоеве и характеризиране на повърхности.
SIMS системата на Hiden позволява изследване на тънки слоеве: профилен елементен анализ nm-на резолюция на MBE слоеве, аморфни покрития, магнитни слоеве и метални оксидни покрития.
Модулната система CATLAB предлага широка гама от възможности за изслед-ване на каталитични процеси, от бързо сканиране до напълно автоматизирано прецизно изследване на процеса на каталитичната активност на различни повърхности. В CATLAB се прилагат тем-пературно програмирани методи, като TPR, TPO и TPD, както и възможност за импулсна хемисорбсия. Интегрираната мас-спектрометрична система осигурява количествен анализ на адсорбционно/де-сорбционните процеси.